如何处理(lǐ)沸石转轮中的VOCs废气残留
沸石转轮中VOCs残留的处理(lǐ)方法，目前对VOCs的末端处理(lǐ)方法包括冷凝、吸附、氧化、生物(wù)处理(lǐ)、吸收、等离子體(tǐ)净化等。我國(guó)防治VOCs的要求和力度逐步加强，沸石旋转吸附浓缩法处理(lǐ)低浓度废气成為(wèi)许多(duō)企业的首选处理(lǐ)方案。在使用(yòng)过程中，挥发性有(yǒu)机化合物(wù)残留在转轮中，会导致沸石转轮劣化，降低处理(lǐ)效率。如何避免和处理(lǐ)这样的情况？為(wèi)了减少沸石转轮设备中挥发性有(yǒu)机化合物(wù)的残留，应改善挥发性有(yǒu)机化合物(wù)废气的入口质量，提高脱附效率。
废气预处理(lǐ)措施通常包括除尘、除湿、除雾、除高沸物(wù)等。根据待处理(lǐ)VOCs废气的实际情况，选择合适的废气预处理(lǐ)措施。比如半导體(tǐ)的制造工艺对生产现场的颗粒物(wù)有(yǒu)严格的要求，一般都是清洁車(chē)间。因此，有(yǒu)机废气中颗粒物(wù)的含量很(hěn)小(xiǎo)，通常不需要除尘预处理(lǐ)。
1.废气预处理(lǐ)
芯片制造生产过程中使用(yòng)的主要有(yǒu)机原料通常具有(yǒu)低沸点和挥发性的特点，但仍不排除少量高沸点物(wù)质，如汽提液的主要成分(fēn)二甘醇胺(沸程218~224℃)。在高沸点物(wù)质的处理(lǐ)过程中，可(kě)以增加冷凝、前期活性炭吸附等预处理(lǐ)装置，避免VOCs废气中难以脱附的高沸点物(wù)质进入沸石转轮。高沸点的VOCs进入废气管道后容易冷凝，从而增加废气的湿度。
2.用(yòng)高压空气吹扫
在停机、检查和维护期间，用(yòng)高压空气吹扫沸石转轮。但高压空气吹扫只能(néng)去除附着在沸石转轮表面的灰尘，而VOCs有(yǒu)机物(wù)通常吸附在分(fēn)子筛孔隙中，无法有(yǒu)效去除，需要配合上述其他(tā)处理(lǐ)方法进行选择。
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